[18a-A16-1~11] 13.4 デバイス／集積化技術

[18a-A16-1] 完全空乏型Silicon-on-Thin-BOX (SOTB) MOSFETおよびBulk MOSFETにおける特性ばらつきの系統的統計解析

^○（M1）田中克久¹，水谷朋子¹，山本芳樹²，槇山秀樹²，山下朋弘²，尾田秀一²，蒲原史朗²，杉井信之²，更屋拓哉¹，小林正治¹，平本俊郎¹ (東大生研¹，LEAP²)

キーワード：SOI,ばらつき