[18a-A16-1~11] 13.4 デバイス／集積化技術

△ [18a-A16-9] トライゲートナノワイヤMOSFETにおけるRTNとホットキャリア、NBTI劣化後のRTN

^○太田健介，齋藤真澄，田中千加，松下大介，沼田敏典 (東芝研開セ)

キーワード：ナノワイヤ,ランダムテレグラフノイズ,信頼性