[18a-A19-1~13] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18a-A19-10] 先鋭バンプの超音波接合による常温接合機構の調査

^○岩鍋圭一郎，首藤高徳，多喜川良，浅野種正 (九大)

キーワード：先鋭バンプ