[18a-A19-1~13] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18a-A19-8] W内包Siクラスターを凝集した原子層厚シリサイド膜の電気伝導特性

^○岡田直也^1,2，内田紀行²，金山敏彦² (JSTさきがけ¹，産総研²)

キーワード：シリサイド,接合