[18p-A11-1~17] 6.4 薄膜新材料

[18p-A11-15] 大気下における沿面放電を利用した二酸化チタン膜の作成

増田優貴，丹祐人，^○金指翔大，奥谷昌之 (静岡大)

キーワード：沿面放電,プラズマ