[18p-A12-1~16] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[18p-A12-2] ナノサイズ結晶を有するIGZO薄膜の結晶性について

^○黒澤陽一，野中裕介，石原典隆，太田将志，山田良則，西野信也，山﨑舜平 (半エネ研)

キーワード：IGZO,nano-crystal,XRD