[18p-A14-1~18] 7.6 イオンビーム一般

[18p-A14-8] ケミカルアシスト法を用いた高感度MeV-SIMS分析に関する研究

^○藤井麻樹子，草刈将一，瀬木利夫，青木学聡，松尾二郎 (京大院工)

キーワード：SIMS