[18p-A18-1~15] 3.15 シリコンフォトニクス

[18p-A18-12] 極薄膜Geシード層を適用したSi(001)基板上Ge層の低暗電流の観察

^○奥村滋一，下山峰史，小野英輝，三浦真，野口将高，藤方潤一，最上徹，堀川剛，田中有，森戸健 (技術研究組合)

キーワード：受光器