[18p-A19-1~14] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

△ [18p-A19-1] 1次元プラズモニックメタマテリアル吸収体による偏光検知非冷却赤外線センサ

^○（M2）高川陽輔¹，小川新平²，増田恭平¹，宮下晃一¹，木股雅章¹ (立命館大¹，三菱電機²)

キーワード：赤外線センサ,偏光