[18p-A19-1~14] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

△ [18p-A19-12] 材料判別を実現する熱伝導率センサ集積型メッシュ状シリコン触覚イメージャ

^○大杉亮太，高木優佑，前田祐作，寺尾京平，鈴木孝明，下川房男，高尾英邦 (香川大)

キーワード：触覚センサ,熱伝導率