[18p-A19-1~14] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18p-A19-13] 圧電MEMS振動発電における銅めっきによる錘の形成

^○村上修一¹，苅谷健人²，吉村武²，長瀧敬行¹，中出卓男¹，佐藤和郎¹，藤村紀文² (大阪府立産技研¹，大阪府立大²)

キーワード：振動発電,MEMS,めっき