[18p-A19-1~14] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

△ [18p-A19-5] アルミ微細周期構造による表面プラズモンを利用したフレキシブルカラーフィルムの製作

^○（B）熊谷隼人，本間浩章，高橋一浩，石田誠，澤田和明 (豊橋技術科学大)

キーワード：プラズモン,フレキシブル,ドットアレイ