2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[18p-A22-1~15] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

2014年9月18日(木) 14:00 〜 18:00 A22 (E314)

15:00 〜 15:15

[18p-A22-5] デジタルエッチングを用いたGaN HEMTのノーマリーオフ化

○山中僚大1，金澤徹1，柳生栄治2，宮本恭幸1 (東工大院理工1，三菱電機2)

キーワード：GaN HEMT