2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

15．結晶工学 » 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[18p-PB10-1~11] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

2014年9月18日(木) 13:30 〜 15:30 PB10 (第2体育館)

ポスター掲示時間13:30～15:30(PB10会場)

13:30 〜 15:30

[18p-PB10-11] Al2O3をゲート絶縁膜とした歪みGe MOS構造の電気特性

○深山剛1，田中伸乃介2，田中貴久2，ミロノフ マクシム3，牧秀之2，伊藤公平2，澤野憲太郎1 (都市大総研1，慶應大2，Warwick大3)

キーワード：半導体