[19a-A12-1~10] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

△ [19a-A12-3] クリティカルレイヤーを用いたスパッタAl添加ZnO透明電導電膜のキャリア輸送制御

^○野本淳一，牧野久雄，山本哲也 (高知工科大総研)

キーワード：透明導電膜,ZnO