[19a-A17-1~12] 13.2 絶縁膜技術

[19a-A17-2] Hf_1-xZr_xO₂-HfO₂積層膜におけるHfO₂膜の強誘電的特性の発現

^○西村知紀，矢嶋赳彬，長汐晃輔，鳥海明 (東大院工)

キーワード：強誘電体