[19a-A19-1~13] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19a-A19-5] 初期非晶質性を変調した Ge 薄膜の Au 誘起成長

^○岡本隼人¹，堀眞聡¹，茂藤健太¹，崎山晋¹，塘内功大¹，原英之²，西村浩人²，高倉健一郎¹，角田功¹ (熊本高専¹，ブルカーバイオスピン²)

キーワード：ゲルマニウム,金属誘起成長,初期非晶質性