[19a-A19-1~13] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19a-A19-7] マイクロ熱プラズマジェット結晶化によるSi極細線の電気特性評価及び薄膜トランジスタ応用

^○（M2）山本将悟，森崎誠司，林将平，中谷太一，東清一郎 (広大院先端研)

キーワード：マイクロ熱プラズマジェット,薄膜トランジスタ