[19a-PB1-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

[19a-PB1-15] 水素プラズマ処理による原子的に平坦なダイヤモンド(111)表面の選択的形成

^○黒島裕貴¹，徳田規夫^1,2,3，牧野俊晴^2,3，山崎聡^2,3，猪熊孝夫¹ (金沢大自然¹，産総研エネ部門²，JST,CREST³)

キーワード：ダイヤモンド,水素プラズマ,エッチング