[19p-A10-1~22] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19p-A10-21] 反応性スパッタ法における基板バイアス印加によるVO₂薄膜の結晶成長制御

^○蘇魁，Bintiazhan Nurulhanis，沖村邦雄 (東海大工)

キーワード：vanadium dioxide