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一般セッション(口頭講演)

合同セッションＫワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス » 合同セッションＫワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[19p-A12-1~16] 合同セッションＫワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

2014年9月19日(金) 13:15 〜 17:45 A12 (E301)

16:00 〜 16:15

[19p-A12-10] β-Ga2O3基板の結晶欠陥評価

^○永井哲也，野網健悟，中居克彦，二木登史郎 (日鉄住金テクノロジー)

キーワード：酸化ガリウム,defect,TEM