[19p-A15-1~12] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

[19p-A15-11] 高熱伝導率 BOX SOI FinFET のアナログおよび I/O 動作特性評価

^○高橋綱己^1,2，内田建^1,2 (慶應大理工電子工¹，CREST, JST²)

キーワード：FinFET,自己加熱効果