[19p-A15-1~12] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

[19p-A15-7] ポリシリコンの結晶性を考慮したモンテカルロイオン注入計算手法

^○関野勇樹¹，横田義徳¹，伊藤早苗¹，青木伸俊¹，石丸一成¹，宮野清孝² (東芝S&S社¹，NFT²)

キーワード：プロセスシミュレーション,ポリシリコン,モンテカルロイオン注入