[19p-A16-1~18] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

△ [19p-A16-15] 横方向液相エピタキシャル成長法により形成したGeSn-on-insulator層の電気特性評価

^○梶村恵子，細井卓治，志村孝功，渡部平司 (阪大院工)

キーワード：LLPE