[19p-A17-1~11] 13.2 絶縁膜技術

[19p-A17-3] ALD法を用いたAl₂O₃膜の酸化剤による膜質の検討

^○野崎義人，関口哲志，平岩篤，川原田洋 (早大ナノ機構)

キーワード：ALD