[19p-A17-1~11] 13.2 絶縁膜技術

[19p-A17-5] Al₂O₃/GeO₂/p-Geの電気特性に及ぼす酸素ラジカル照射の効果

^○王谷洋平¹，梁池昂生¹，横平知也¹，山田大地¹，関渓太²，佐藤哲也²，福田幸夫¹ (諏訪東京理科大¹，山梨大²)

キーワード：酸素ラジカル,原子状酸素,マイクロ波