2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング

[19p-S10-1~18] 8.4 プラズマエッチング

2014年9月19日(金) 14:15 〜 19:00 S10 (S10)

16:45 〜 17:00

[19p-S10-10] プラズマプロセス下の半導体薄膜の欠陥発生と修復の実時間モニタリング

布村正太,坂田功 (産総研)

キーワード:ダメージ,エッチング,プラズマ