[19p-S10-1~18] 8.4 プラズマエッチング

[19p-S10-16] プラズマエッチングにおける基板表面へのイオン入射軌跡の解析

中崎暢也，^○園部蒼馬，初瀬巧，江利口浩二，斧高一 (京大)

キーワード：plasma etching,コントロールプレート