[20a-A25-6~13] 16.2 プロセス技術・デバイス

[20a-A25-13] 加熱タングステンワイヤ上でのジボランからのＢ原子およびＢＨラジカルの発生機構

^○梅本宏信^1,2，金光泰二郎^1,2 (静岡大工¹，JST CREST²)

キーワード：ジボラン,ドーピング,Cat-CVD