[20p-A13-1~8] 7.4 ナノインプリント

[20p-A13-4] フッ素系添加剤含有樹脂を用いたモールド離型膜フリーナノインプリント

^○大山貴弘¹，山下恒雄²，岡田真¹，伊吉就三¹，春山雄一¹，松井真二¹ (兵県大院物質理¹，ダイキン工業²)

キーワード：ナノインプリント,フッ素,界面活性剤