[17a-E10-1~11] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

△ [17a-E10-3] ZnOグラフォエピタキシャル薄膜の成長機構

^○入野将昂¹，大島孝仁¹，大友明^1,2,3 (東工大院理工¹，JST-ALCA²，元素戦略³)

キーワード：酸化亜鉛,グラフォエピタキシー