[17a-E10-1~11] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[17a-E10-6] 反応性ヘリコン波励起プラズマスパッタ法によるZnO系微小光共振器形成の検討

^○古澤健太郎^1,2，柿畑研人^1,2，小山雅史^1,2，秩父重英^1,2 (東北大多元研¹，東北大院工²)

キーワード：スパッタリング,励起子ポラリトン