[17a-E13-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [17a-E13-11] MOVPE成長 －c面InGaN/GaN多重量子井戸構造における準安定相混在の抑制

^○正直花奈子¹，崔正焄^1,2，岩渕拓也¹，宇佐美徳隆³，谷川智之^1,2，窪谷茂幸¹，花田貴^1,2，片山竜二^1,2，松岡隆志^1,2 (東北大金研¹，JST, CREST²，名大院工³)

キーワード：InGaN,N極性面,MOVPE