[17a-F4-1~11] 7.6 イオンビーム一般

[17a-F4-8] ヘリウムビームを用いたTOF-ERDA測定における深さ分解能

^○安田啓介¹，石神龍哉¹，中田吉則¹，日比章五² (若狭湾エネ研¹，豊田中研²)

キーワード：TOF-ERDA,軽元素分析,深さ分解能