2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

15．結晶工学 » 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[17a-PG2-1~5] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

2014年3月17日(月) 09:30 〜 11:30 PG2 (G棟2階)

09:30 〜 11:30

[17a-PG2-1] Cap-Si/圧縮歪みSiGeチャネル/Si(110)ヘテロ構造を有するp-MOSFETの界面準位密度と正孔移動度に与えるCap-Si膜厚の影響

○小幡智幸1，有元圭介1，山中淳二1，中川清和1，澤野憲太郎2 (山梨大クリスタル研1，東京都市大総研2)

キーワード：圧縮歪みSiGe,Cap-Si,MOSFET