[17a-PG2-1~5] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[17a-PG2-4] イオン注入法がSi1-XCX/Si(001)構造の欠陥形成過程に及ぼす効果

中込諒¹，酒井翔一朗¹，藤原幸亮¹，古川洋志¹，^○有元圭介¹，山中淳二¹，中川清和¹，宇佐美徳隆²，星裕介²，澤野憲太郎³ (山梨大クリスタル研¹，名古屋大²，東京都市大総研³)

キーワード：Silicon Carbon