[17p-D4-1~13] 11.5 接合，回路作製プロセスおよびデジタル応用

[17p-D4-10] 原子層成長法を用いたアルミニウム超伝導素子の作製

^○鈴木元^1,2，原田裕一¹，齊藤志郎^1,2，山口浩司¹ (NTT物性基礎研¹，東京理大応物²)

キーワード：原子層成長法