2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

11．超伝導 » 11.5 接合，回路作製プロセスおよびデジタル応用

[17p-D4-1~13] 11.5 接合，回路作製プロセスおよびデジタル応用

2014年3月17日(月) 14:00 〜 17:30 D4 (D115)

16:45 〜 17:00

[17p-D4-11] 高温動作単一磁束量子回路のためのNbTiN/AlNx/NbTiN接合の作製

○（M1）坂本隼也，赤池宏之，藤巻朗 (名大工院)

キーワード：NbTiN,SFQ,NbN