[17p-D5-1~8] 17.2 構造制御・プロセス

[17p-D5-5] マイクロ波表面波プラズマCVDによるグラフェン成長と余剰カーボン膜の除去方法

^○市村進^1,2，内田秀雄¹，脇田紘一¹，林靖彦²，梅野正義¹ (中部大・総合学術研究院¹，岡山大・院 自然科学研究科²)

キーワード：Graphene,マイクロ波表面波プラズマCVD,超音波