[17p-D5-1~8] 17.2 構造制御・プロセス

[17p-D5-6] グラフェンのプラズマ加工における損傷メカニズムの解明

^○岡田健¹，五十嵐孔基¹，SuChing-Yuan²，HuangChi-Hsien³，PatrickHan⁴，菅原克明⁴，一杉太郎⁴，高橋隆⁴，寒川誠二^1,4 (東北大流体研¹，National Central University²，Ming Chi University of Technology³，東北大WPI⁴)

キーワード：graphene, plasma