2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

03.光 » 3.4 計測光学

[17p-E4-1~17] 3.4 計測光学

2014年3月17日(月) 13:15 〜 17:45 E4 (E104)

16:30 〜 16:45

[17p-E4-13] 位相シフト法を用いたレーザビーム走査型干渉計による表面形状測定

舟窪歩,佐々木修己,崔森悦,鈴木孝昌 (新潟大工)

キーワード:位相シフト法