[17p-E4-1~17] 3.4 計測光学

[17p-E4-15] テラヘルツ時間領域分光装置を用いた膜厚測定

^○赤木基信，北岸恵子 (大塚電子)

キーワード：膜厚測定,不透明,テラヘルツ