[17p-E5-1~13] 15.6 IV族系化合物

[17p-E5-5] PVTを用いたSiC結晶成長における不純物混入解析

^○柿本浩一¹，BingGao¹，中野智¹，寒川義裕¹，西澤伸一² (九大応力研¹，産総研²)

キーワード：シリコンカーバイド,昇華法