14:00 〜 14:15
[17p-F1-1] Al添加ZnO膜の軸外しRFマグネトロンスパッタ成膜
キーワード：Sputtering,Off-axis,Al添加ZnO
講演情報
一般セッション(口頭講演)
08．プラズマエレクトロニクス » 8.3 プラズマ成膜・表面処理
[17p-F1-1~16] 8.3 プラズマ成膜・表面処理
2014年3月17日(月) 14:00 〜 18:15 F1 (F201)
一般セッション(口頭講演)
08．プラズマエレクトロニクス » 8.3 プラズマ成膜・表面処理
2014年3月17日(月) 14:00 〜 18:15 F1 (F201)
14:00 〜 14:15
キーワード：Sputtering,Off-axis,Al添加ZnO