[17p-F1-1~16] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

▼ [17p-F1-11] 水素原子源付きプラズマCVDで作製した炭素薄膜の堆積速度:圧力と電極間距離への依存性

^○董ショウ，古閑一憲，山下大輔，徐鉉雄，板垣奈穂，白谷正治 (九大)

キーワード：堆積速度,圧力,電極間距離