[17p-F1-1~16] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[17p-F1-12] シランプラズマ中のクラスター量に対する振幅変調放電の効果

^○都甲将，橋本優史，金光善徳，鳥越祥宏，徐鉉雄，鎌滝晋礼，板垣奈穂，古閑一憲，白谷正治 (九大)

キーワード：CVD,cluster,AM変調