[17p-F1-1~16] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[17p-F1-2] ハイブリッド対向スパッタで作製したITO透明導電膜

^○諸橋信一，高木史博，荒川峻也，原田直幸，村田卓也 (山口大院)

キーワード：対向スパッタ,ハイブリッド対向スパッタ