[17p-F1-1~16] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

△ [17p-F1-9] 三角形状に波形変調した誘導熱プラズマを用いたダイヤモンド膜生成および照射ラジカル量の変調波形依存性

^○堀田宗佑，春多洋佑，福澤未夢，田中康規，上杉喜彦，石島達夫 (金沢大院電情)

キーワード：熱プラズマ,多結晶ダイヤモンド膜,ラジカル