[17p-F2-1~17] 8.2 プラズマ診断・計測

[17p-F2-14] TDLASによるICP支援DCマグネトロン放電の気体温度計測(Ⅲ)

^○松田良信，秋葉駿佑，坂口侑也，篠原正典 (長崎大院工)

キーワード：気体温度,レーザー吸収分光,誘導結合プラズマ