[17p-F2-1~17] 8.2 プラズマ診断・計測

△ [17p-F2-2] プラズマプロセス監視のための特性インピーダンスモニタリング法による負荷インピーダンス測定

^○本村大成¹，笠嶋悠司¹，福田修¹，上杉文彦¹，栗田裕之²，木村直也² (産総研¹，アドバンテスト²)

キーワード：プラズマ,インピーダンス,モニタリング